欢迎访问~宝鸡市众昌有色金属有限公司官方网站
  咨询电话:13571195021

溅射靶材

  • 锆靶
锆靶

锆靶

  • 牌号:HZr-01
  • 产品描述:为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。
  • 在线咨询

靶材应用:

溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;亦可应用于玻璃镀膜领域;还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。

众昌金属可为用户专业生产加工各种规格溅射靶材,纯度高、均匀致密,具有优良导热性,从而保证靶材的高效率和高利用率。

靶材分类:

根据形状可分为:方靶、圆靶、异型靶

靶材的主要性能要求

纯度

纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”、8“发展到12”,而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。

杂质含量

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。


我公司钨钼制品具有熔点高、强度大、寿命长、耐高温性能好等特点,广泛应用于热场、真空镀膜、太阳能、蓝宝石晶体、光电子、半导体、特种陶瓷、光源照明、机械部件、玻璃制造、玻璃纤维,耐火纤维,稀土冶金、工业窑炉等诸多领域。

玻璃纤维炉用加热电极材料钼板电极, 钼螺栓, 钼弯条

硅酸铝纤维炉、玻璃电熔窑炉用加热电极材料钨合金棒电极, 钼棒电极, 钼流口, 钨板, 钼板, 钨捅针, 钼捅针

CTX射线管和旋转阳极X射线管钼基钨靶

稀土冶金行业钨棒, 钨坩埚, 钼坩埚

中、高压开关管电触头材料铜钨合金, 碳化钨铜

真空炉、蓝宝石晶体生长炉加热室钨坩埚, 钼坩埚, 钨隔热屏, 钼隔热屏, 钨零件, 钼零件

钛、锆及其合金材料钛板, 钛棒, 钛管, 钛丝, 锆板, 锆棒, 锆管, 锆丝等钛锆金属材料

钛、锆金属制品钛设备, 钛锻件、铸件, 锆设备, 锆锻件、铸件

公司以“优质的产品质量、优秀的经营服务”为宗旨,热诚欢迎新老客户洽谈合作,共同发展。

咨询电话:0917-3210458,13571195021(吕经理)

上一个:钽钯 下一个:铌靶

用手机扫描二维码关闭
二维码